XY軸ポジショニングステージ KDT380-DC series

電動式2軸高精度

重量物用精密アパーチャーステージ アパーチャ付き大型XYステージKDT380は、最大20kgまでの重量物の高精度位置決めを可能にします。バックラッシュのないボールネジ駆動の採用により、高精度と優れた走行性を実現し、同時に高剛性・長寿命も実現しています。また、バックラッシュのないボールネジ駆動を採用することで、最高の精度と優れた走行性を実現し、同時に非常に高い剛性と長寿命を実現しています。コンパクトな設計と170 x 170 mmのアパチャサイズにより、要求の厳しいスキャンや検査の幅広いタスクに適しています。 コンパクト設計で幅広い検査に対応 高精度な検査、顕微鏡、スキャニング用途に最適 170 x 170 mmの大口径 0.5 µmまでの高精度な繰り返し精度 最大20kgまでの高荷重を高精度で位置決め可能 オプション DCモーターまたはステッピングモーターを使用可能 様々な高分解能測定システム クリーンルーム、真空仕様も可能 応用分野 計測、高解像度顕微鏡、3D検査、検査システム、検査技術、自動光学検査（AOI）、インライン検査、表面検査、膜厚測定