大口径スキャニングステージ
省スペース設計と大口径が特長の堅牢なXYステージです。高精度ボールネジとオトゴナリティの調整により、高精度な位置決めと走行精度を実現しました。また、コストパフォーマンスに優れ、長寿命です。
顕微鏡作業用に設計
- 顕微鏡、光学検査装置、レーザー加工に最適です。
- 0.5 µm までの高精度な繰り返し精度
- 優れた価格性能比と非常に長いライフサイクル
- オプションで 100 mm の移動量 (KDT310) が利用可能
適用分野
顕微鏡、光学検査システム、3Dイメージング、スクリーニング、干渉計、計測、オートフォーカスシステム、バイオテクノロジー、半導体検査などの高分解能アプリケーション
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