高真空マイクロ配置システム MP53-3-PM-10-PM-L

3軸XYZ軸圧電

MP53-3-PM - 真空コンパクト多軸システム 高分解能マイクロポジショナー - HV / UHV / EUV、移動量10 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重0.5 kg - 真空: 全範囲 HV / UHV / EUV - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしを選択可能 - 0.005 µm までの繰り返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで用意 - 回転アプリケーション用回転ステージとの組み合わせが可能 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 対応バージョン (ご要望に応じてクラス 1 まで対応) - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 要求の厳しいアプリケーションに対応する小型XYZマニピュレーター MP53は、限られた設置スペースでXYZの3軸を動かすことができる小型のマニピュレーターです。移動量10mmを実現しました。ピエゾモーターを搭載しており、数ナノメートルの位置決め精度を実現し、高真空や超高真空での高精度な用途に対応します。 応用分野 実験室用途、顕微鏡・半導体技術用途、超高真空・極端紫外線下での研究用途、試料作成、試料スキャン、試料ハンドリング、カメラ調整、センサー調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン、小型化