圧電ナノ位置決めステージ MT53-PM

クロスローラー小型非磁性

クロスローラベアリングとピエゾモータを採用した、ナノメートル領域でのステップ動作が可能なマイクロステージです。 高分解能マイクロステージ Steinmeyer Mechatronik製品群の中で最小のステージは、非常に高い解像度を提供します。その小型化設計により、スペース要件が制限され、高水準が要求されるアプリケーションに最適です。 ピエゾモーターによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域でのステップを可能にします。真空および非磁性体バージョンでは、このマイクロステージは厳しい環境での使用に完全に適しています。 マイクロマシニングとマイクロアセンブリに理想的なステージ MT53は、要求の厳しいマイクロマシニングやマイクロアセンブリの用途に使用することができます。また、研究開発用途や半導体産業にも理想的な配置が可能です。