XY軸ポジショニングステージ KT180-DC

電動式2軸コンパクト

フラットXYステージ、移動量60 mm、アパーチャ90 mm、繰り返し精度1.1 µm、荷重6 kg プレート構造、開口部付き対称型XYステージ KDT180は、非常にフラットなデザインと90 x 90 mmの大きなアパーチャを持つ、汎用性の高いステージです。この開口部により、ステージの残留誤差を除いた差分測定や透過光測定が可能になります。このステージは、特に計測や光学の用途に適しています。 コンパクトでフラットな大口径ステージ - 顕微鏡、検査、測定システムに最適です。 - 1.1 µm までの高精度な繰り返し精度 - DCモータまたはステッピングモータ仕様も選択可能 応用分野 顕微鏡、計測、光学、3D イメージング、オートフォーカスシステム、電子機器組立、光学系位置決め、サンプル位置決め、半導体検査、測定システム、測定装置でのアプリケーション