XY軸ポジショニングステージ KDT180-NM

リニアモータ駆動2軸高精度

高精度、移動量100 mm、開口部115 mm、繰り返し精度0.5 µm、荷重5 kg ピエゾモータを搭載したKDT180は、最小刻みと高分解能が印象的です。高い位置決め分解能と同時に、高速性を実現したXYステージです。このXYシステムには、高真空、超高真空、厳しい環境条件に対応する非磁性体バージョンも用意されています。 要求の厳しい環境に最適 - 顕微鏡検査、研究開発、実験物理学に最適 - 0.5 µm までの高精度な繰り返し精度 - 非常に高い位置決め分解能で高速回転 - ピエゾモータ、ステッピングモータ、DC モータをオプションで用意 - 真空仕様（HV / UHV）および非磁性体仕様があります。 応用分野 顕微鏡、超解像顕微鏡、走査型顕微鏡、3Dイメージング、スクリーニング、真空チャンバー、干渉計、計測、オートフォーカスシステム、バイオテクノロジー、半導体検査、研究、実験物理、電子機器組立、光学系位置決め、サンプル位置決めにおける高解像度アプリケーション