高精度ポジショニングステージ KDT105 series

XY軸圧電2軸

アパーチャとクロスローラベアリングを採用したXYステージは、高真空、超高真空、極端な紫外線下での用途に高いダイナミクスとスピードを提供します。そのサイズに比べ、非常に小さなステップサイズを可能にします。 ピエゾモータを搭載し、ナノメートル領域での微小なステップを実現し、ほとんど到達できないほどの位置安定性を実現しています。ナノモーションにより、非常に高いダイナミクスと高速性を実現し、マイクロメートルレンジの精度で最大限の耐用年数を達成しています。 MT105リフティングステージと簡単に組み合わせることができるため、多くのアプリケーションの可能性を提供します。 応用分野 ラボ用精密位置決め、顕微鏡および半導体技術、超高真空および極端な紫外線下での研究、試料作成、試料スキャン、試料処理、バイオチップ、ウェハー検査、ウェハーアライメント、カメラ調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン