顕微鏡ステージ、移動量100 mm、開口部150 mm、繰り返し精度0.5 µm、荷重7 kg
大口径スキャニングステージ
省スペース設計と大口径が特長の堅牢なXYステージです。高精度ボールネジとオトゴナル性の調整により、高精度な位置決めと走行精度を実現しました。また、コストパフォーマンスに優れ、長寿命です。
顕微鏡作業に最適な設計
- 顕微鏡、光学検査装置、レーザー加工に最適です。
- 0.5 µm までの高精度な繰り返し精度
- 優れた価格性能比と長いライフサイクル
- オプションでステッピングモーター仕様や移動量 50 mm (KDT235)を用意
応用分野
顕微鏡、光学検査システム、3D イメージング、スクリーニング、干渉計、計測、オートフォーカスシステム、バイオテクノロジー、半導体検査における高解像度アプリケーション
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