高安定性を
備えたヘキサポッドの精密位置決めKUBANヘキサポッドは、高精度で1.5μradの分解能で空間に要素を配置するように設計された、非常に安定した6DOFシステムです。
高分解能アクチュエータと高精度の球形ジョイントの構成と統合により、KUBANヘキサポッドは最大 500kgのペイロードで高い分解能と再現性を実現できます。
このヘキサポッドのアクチュエータはJORANヘキサポッドと同じですが、よりコンパクトな構成になっています。
用途
► シンクロトロン:ミラー、偏光またはチャンバサポート
► 光学
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