サイズ:4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチ&非標準。
PEEK製ハンドヘルドツール、ウェハーのハンドヘルド検査用ツール。
PEEKはハロゲン元素を含まず、半導体ウェハーを汚染しません。
1.高い耐熱性:300℃までの耐熱性を有し、鉛フリーはんだ付け工程の高温でも強度と寸法安定性を維持することができる。250~280℃の温度では変形がなく、5~10秒以内にリフローします;
2.耐摩耗性: 高い機械的強度と耐摩耗性;
3.寸法安定性:フィラーグレードの材料は、熱膨張係数を低減し、熱変形温度を増加させ、厳格な寸法管理を保証します;
4.低アウトガス:付属品に純度が要求される用途(ハードドライブ、ウェハーボックスなど)では、汚染を低減し、信頼性を向上させます;
5.低吸湿性:寸法安定性と絶縁性能を維持するために非常に重要。
PEEKウェハークランプとシリコンウェーハピンセットは、260℃の温度で長時間使用できる。高温でも高い強度を維持でき、寸法安定性が良く、線膨張係数が小さい。同時に、摺動摩耗やフレッチング摩耗に強く、摩擦係数が低いなどの優れた特性も備えている。PEEKウエハークランプを使用してウエハー・シリコンウエハーをクランプすると、ウエハー・シリコンウエハーの表面に傷がつかず、摩擦によるウエハー・シリコンウエハーへの残留物が発生しないため、ウエハー・シリコンウエハーの表面清浄度が向上します。
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