プロセス分析器 4200A-SCS series

電気回路網用電圧卓上型

4200A-SCS型を使用することで、半導体デバイス、材料、プロセス開発の研究、信頼性／障害解析を効率的に実行できます。高性能パラメータ・アナライザは、電流-電圧（I-V）測定、容量-電圧（C-V）測定、超速パルスI-Vの同期測定が行えます。 高速で信頼性の高いパラメータ解析 高度な電気的特性評価が、これまでになく簡単になりました。4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、セットアップから特性評価テストの実行までの時間を最大50%短縮できるだけでなく、信頼性の高い優れた測定／解析機能を利用できます。さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。 特長 • DC I-V、C-V、パルスI-Vの測定に対応した高度な測定ハードウェア • Clariusソフトウェア：ユーザによる変更が可能な数多くのアプリケーション・テストが付属しており、すぐにテストを開始できる • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、解析など豊富な機能を装備 正確なC-V特性評価 ケースレーの最新の静電容量／電圧ユニット（CVU）である4215-CVU型では、わずか1桁のフェムトファラドを測定できます。1VAC電源をケースレーの業界をリードするCVUアーキテクチャに統合することで、4215-CVU型は1kHz～10MHzの周波数で低ノイズの静電容量測定を実現しています。