溶存オゾン検出器 470

半導体式産業用コンパクト

Model 470は、半導体ウェットベンチツールや他の多くの産業プロセス向けに設計された最先端の溶存オゾンセンサです。この製品は、最大150mg/L濃度の脱イオン水または硫酸浴中の溶存オゾンの連続測定を提供します。Model 470は、高純度の半導体プロセスで「クリーン対応」であり、最大流量を持つ任意のウェットベンチツールの再循環ループでインラインで接合するように設計されています。150SLPMか Model 470 Sensorは、革新的なデュアル光パスサンプルセンシング技術を採用しており、比類のない性能を提供し、基準液測定の必要性を事実上排除します。 一般的な設置は、470センサーと相互接続テフロン 7ジャックケーブルで構成されています。470センサには、アナログまたはデジタル信号を介して測定中の濃度を湿式ベンチコンソールにリモートで報告する機能が含まれています。 特徴 -その場モニタリング -インライン、フルフロー機能 -ストレートフローパス -可動部品 なし-消耗品なし -最大150 mg/L -リモートゼロ校正 -高精度UV吸収法 -デュアル光学パスサンプル検出技術 -正規なしメンテナンス必要 -半導体グレード接液材料 -コンパクトFRPPエンクロージャ -テフロン7ジャケット相互接続ケーブル