ガス調整システム SCI-552

SCI-552は、オゾン発生器、EVバルブ、マスフローコントローラ、背圧コントローラ、テレダインAPI 452オゾンセンサ、テレダインAPI 470 溶存オゾンセンサ、と水の冷却器。 SCI-552は、多くのシステムインターロック機能のためのハードウェアおよびソフトウェアをサポートしています。SCI-552は、フロントパネルのユーザーインターフェース、MODBUSシリアル・インターフェース、またはさまざまなディスクリートデジタル/アナログI/Oポイントを介してシステムを制御できる柔軟性を提供します。SCI-552は、2つのオゾン発生器をサポートするように設計されており、2つの独立したオゾン出力チャンネルを提供します。 特徴 -RS-232 MODBUSリモートサポート -最大2つのオゾン発生器を制御 -最大2つのモデル452およびモデル470オゾンセンサとのインターフェース -最大4つのマスフローコントローラを 制御-最大2つのバックプレッシャーコントローラを 制御-最大2つのEVバルブを 制御-ウォーターチラーを制御 -システムインターロック入力 -リモートシステムレベルの制御とステータスI/O アプリケーション -化学気相蒸着（CVD） -原子層蒸着（ALD）- 酸化物成長- 表面コンディショニング-ア ッシング -粒子洗浄 -フォトレジスト除去 -その他