COガスセンサー OPTI-Sense

CO2半導体式NDIR

Opti-Senseシリーズのセンサは、非分散赤外線（NDIR）技術に基づいています。これらの製品は、 半導体アプリケーションで一般的に見られる特殊ガスの赤外線スペクトルの吸光度を正確に測定するように設計されています。 非常にコンパクトで可動部品なしで設計されているため、Opti-Senseは堅牢で、半導体プロセスの連続in-situガスモニタリングに最適です。 組み込みソフトウェアには、組み込み診断機能が組み込まれています。すべてのOpti-Senseセンサは、アナログおよびデジタル インターフェースで構成されているため、あらゆるプロセスに簡単に統合できます。 特徴 -NDIR 非分散赤外線 -赤外線吸収ガス（SiF4、SiF3、CO、CO2、CF4、SF6、NF3、WF6、その他の種）に最適 -高速応答時間- 高感度- 種別- 消耗品なし- 可動部品なし -GUI LabVIEWソフトウェア（オプション）