オゾン破壊装置 CAT-O3 series

CAT-O3シリーズのオゾン破壊装置は、高濃度のオゾンガスを安全に分解し、推奨されるオゾン安全基準値を下回るサブppmレベルまで分解します。触媒方式による分解は、金属酸化物触媒を使用してオゾンを受動的に酸素に変換します。 CAT-O3シリーズのオゾン破壊装置は、熱シールドで保護された溶接ステンレス鋼の筐体から作られています。これらは、業界の厳しい安全性能要件を満たすために慎重に設計されています。 特徴 - 全溶接構造 - 自己完結型 - 反応速度が速い - 消耗品なし - メンテナンスが不要 - 簡単な設置 半導体 - CVD TEOS/Ozone - ALD - MOCVD - アッシャー - ウエットベンチ - スプレイツール - その他