Pirani真空計 HVG-2020B

ピエゾデジタルRS485

HVG-2020Bはワイドレンジ、デュアルセンサー真空計で、次のレベルの測定が可能です。 ピエゾセンサーと熱式ピラニセンサーを搭載し、70年以上にわたって正確かつ確実に圧力を測定します。ピエゾセンサーは、メディアから隔離され、ガス組成に依存せず、ピラニセンサーによって定期的にゼロ調整されます。 また、ピラニセンサーによって定期的にゼロ点調整されます。環境温度センサーは、測定器の温度調整を可能にし、より高い精度を実現します。 オプションのタッチスクリーンディスプレイ、無償のWindowsデータ収集ソフトウェア、さまざまなデジタル通信経路により、HVG-2020Bは柔軟でユーザーフレンドリーな製品となっています。 USB、RS 232、RS 485、リニア出力、ログ出力、データ収集ロギング用のグラフィック表示など、このワイドレンジなゲージがあれば、どんなニーズにも対応できます。 半導体エッチ スパッタリングチャンバー ロードロックシステム プロセスコントロールとテスト プラズマコーティング