熱式質量流量調節器 ​HFM-D-300A

ガス用ステンレススチール製デジタル

マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-300A / HFC-D-302Aは、0-5 sccmから0-25 slmまでの流量レンジを持ち、オールメタルシールを使用し、アナログとデジタルの出力を備え、ステンレススチール製のマスフロー機器です。簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信、ウィンドウズベースのソフトウェアインターフェースをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能は、デジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。また、ユーザーが設定した条件でのガス使用量を監視するトータライザーを内蔵しているのも特徴です。 リークテスト 薄膜蒸着 高純度ガスの供給 サーマルフレームスプレー ガスブレンディング 製薬プロセス