Pirani真空計 HPM 2002

ピエゾ抵抗型LEDディスプレイ付きコンパクト

受賞歴のある2002シリーズのワイドレンジ、デュアルセンサー真空計は、パネルマウントとセンサーマウントの2つの取り付けスタイルがあります。 HPM-2002は、マイクロプロセッサーを搭載した表示器、ゲージ管、相互接続ケーブルからなるパネルマウント型の真空計です。 2つの検出素子（マイクロマシニングピラニとピエゾ抵抗センサ）により、1×10-4から1000Torrまでの70種類の圧力で正確な真空測定が可能です。 マイクロプロセッサーに内蔵されたアルゴリズムにより、センサー間のシームレスな移行が可能です。 HPM-2002-OBE（デュアルセンサー真空計）は、この真空計のシステムマウント型バージョンです。 HPM-2002-OBEは、2002シリーズのすべての性能をコンパクトな構成で提供し、12種類の信号出力オプションから選択することができます。 アプリケーション 半導体エッチ スパッタリングチャンバー ロードロックシステム プロセスコントロールとテスト プラズマコーティング