Thermo Scientific Inspect 3Dソフトウェアは、断層画像シリーズ(透過型電子顕微鏡または走査型透過型電子顕微鏡、TEMまたはSTEMで得られた画像)とエネルギー分散型X線分光法(EDS)マップのアライメントを行い、データの3D再構築を行うユーザーフレンドリーなソリューションです。Inspect 3Dソフトウェアは、基本的な可視化機能も備えています。サーモ・サイエンティフィックのすべてのTEM、STEM、EDSトモグラフィソフトウェアは、インスペクト3Dソフトウェアと完全な互換性があります。
インスペクト3Dソフトウェアは、画像の相互相関に基づく粗いX-Yアライメントから開始します。自動化されたビードトラッキングまたはパッチトラッキング手順により、アライメントをさらに精密化できます。ビーズトラッキングは、各画像の回転や倍率の変化を補正しながら、傾斜シリーズを通して試料上の複数の丸い粒子をトレースします。パッチトラッキングは、チルトシリーズを通して画像の複数の領域をトレースし、結果を結合します。
Inspect 3D Softwareは、3Dボリューム再構成のための2つの古典的なアルゴリズム、加重逆投影法(WBP)と同時反復再構成法(SIRT)を提供します。さらに、Inspect 3D Softwareは、HAADF-EDSバイモーダルトモグラフィー(HEBT)と呼ばれる、STEMファイルとEDSファイルの同時処理による簡単なEDSトモグラフィ再構成を提供し、元素再構成を強化します。
Inspect 3Dソフトウェアで提供される反復再構成技術には、次のようなものがあります;
- 共役勾配最小二乗法(CGLS)
- SIRT再構成と比較して伸長アーチファクトが大幅に低減される期待値最大化(EM)
- 同時代数再構成法(SART)
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