複合機センサー付き（Piezo/Pirani）真空ゲージ VSR

デジタルRS485EtherCAT

絶対圧 1200mbar～1×10-4mbar（=hPa）、900Torr～1×10-4Torr ピエゾセンサーとピラニセンサーを組み合わせたデジタルVSR真空計は、大まかな真空領域と微細な真空領域で高精度と優れた分解能を提供します。インテリジェントなマイクロプロセッサー制御が、両方の真空センサーの最適な相互作用を自動的に制御します。 Smartlineは、便利で安全、かつ費用対効果の高いプロセス制御のために、最先端のデジタル技術を採用しています。 メリット - ピエゾ/ピラニコンビネーションセンサーによる広い測定範囲 - 全測定範囲にわたる高精度と最適な分解能 - 優れた再現性と長期安定性 - デジタルRS485インターフェースと0～10V出力信号、EtherCATまたはPROFINET - BluetoothアダプターSLKBTによるワイヤレス通信 - ボーレート自動検出 9.6 kBd～115 kBd - オプションでバックライト付き大型LCDディスプレイ内蔵（VSR53DL、VSR54DL） - 独立した無電位リレースイッチ2点 - 簡単に交換可能なカリブレートセンサヘッド アプリケーション例 - ロードロックチャンバー - 分析技術 - コーティングシステム - 真空炉 - リークテスト - バッキングポンプの運転制御 - プロセスエンジニアリング