複合機センサー付き（Piezo/Pirani）真空計 VSL

RS485EtherCAT

真空変換器VSLはロードロック用に特別に開発されました。この金属製密閉ゲージはマルチセンサー技術を採用し、2つのピエゾとピラニセンサーを組み合わせています。そのため、この真空計は1200 ...1e-4 mbarの範囲の絶対圧と、-1060 ... +340 mbarの範囲の環境に対する相対圧を測定します。 ピエゾ/ピラニマルチセンサー搭載VSL真空計の概要 - 統合マルチセンサーシステム：2つのピエゾダイアフラムセンサーがチャンバーポンプダウンとベントアップをモニター；10-4mbarまで測定可能なピラニセンサーがロードロックとプロセスチャンバー間の低圧移動をコントロールし、パーティクルイベントを最小限に抑えます。 - デジタルRS485インターフェースと0-10 V出力信号、EtherCATまたはPROFINET - ドアオープン機能を正確にトリガーする差圧出力 - 高精度、最適な分解能、優れた安定性 - 最大40 msの短い応答時間 - 最適化された温度補正による安定した測定値 - 20 mbar以上のガス種に依存しない測定