- 検出・測定
- レベル計･圧力測定･流量測定
- ダブルセンサー真空計
- Thyracont Vacuum Instruments GmbH
複合機センサー付き（Piezo/Pirani）真空計 VSR耐薬品性アグレッシブ流体
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特徴
- 技術
- 複合機センサー付き（Piezo/Pirani）
- その他の特徴
- 耐薬品性, アグレッシブ流体
- 真空範囲
最少: 0.00005 mbar
(0.000000725 psi)最大: 2,000 mbar
(29.007547546 psi)
詳細
ピエゾセンサーとピラニセンサーを組み合わせたアナログVSR真空計は、大まかな真空領域から微細な真空領域まで、高精度と優れた分解能を提供します。
MA4 - 4-20mA 出力信号
MV - 0-10V出力信号
ピエゾ/ピラニセンサ付きVSR真空計の概要
- ピエゾ/ピラニセンサーの組み合わせ、測定範囲5.0 x 10-5 mbarまで拡張可能
- 粗真空を含む全測定範囲で高精度
- 安定した生産プロセスのための優れた再現性と信頼性
- 低真空でのガス種に依存しない測定
- 最大18msの高速応答時間により、クロックサイクルの短縮が可能
- コンタミネーションから保護する一体型メタルフェーシング
- メタルシールステンレススチール測定セルによるUHV対応（Heリーク率 <5e-10 mbar l / s）
- 10barまでの過圧安定性
- LEDによる光学的状態表示
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