熱陰極式真空ゲージ制御装置 PVC

デジタルパッシブ

PVCイオンゲージ・真空システムコントローラー ●パッシブ型UHV熱陰極イオンゲージ用 この製品群は、1台または2台のパッシブ型熱陰極イオンゲージ用のコントローラに加え、パッシブ型ピラニセンサVSP521/VSP841やアクティブ型0-10V真空トランスデューサを追加するための様々なプラグインモジュールで構成されています。 本製品は、1台または2台のパッシブ型熱陰極イオンゲージ用のコントローラと、追加のパッシブ型ピラニセンサVSP521/VSP841またはアクティブな0-10V真空トランスデューサを操作するための様々なプラグインモジュールで構成されています。また、適切な熱陰極イオンゲージや、ベークアウト制御用の熱電対温度センサーやゲージケーブルなどのアクセサリーもご用意しています。 概要 PVC製イオンゲージと真空システムコントローラ - 1台のUHVイオンゲージサポート（PVCuni）または2台のUHVイオンゲージサポート（PVCduo）用 - ピラニゲージやアクティブな0-10Vトランスデューサを追加するための2つのモジュールスロット - 直感的なメニューによる操作 - オートレンジングエミッション、または11種類のマニュアルエミッション設定 - デガス中の圧力測定、ランプ式パワーデガス - ピラニゲージ（VSP52x, VSP84x）を追加するための2つのモジュールスロット - 統合されたインターロック式マルチステップ・ベークアウト・コントローラー - ユーザー定義可能な2つのオン/オフタイマー - ユーザー定義可能なインターロックハブ、7つの出力トリップ、4つのデジタル入力 - 測定値は圧力単位で表示されるほか、ビームフラックスモニター（BFM）用のダイレクトイオン電流（エミッション補正）としても表示可能 - デイジーチェーン接続が可能なマルチドロップRS232/RS485インターフェースを標準装備 - バイナリMODBUSおよびASCIIベースのQueBUSプロトコルを使用した完全なコンピュータ制御 - 2 x 0-10Vアナログ出力 用途 - すべてのHVおよびUHVシステムの圧力とインターロックの監視、およびプロセス制御 - MBEビームフラックスモニタリング