Pirani真空計 VSM

冷陰極式液晶ディスプレイRS485

Smartline 真空トランスデューサー 絶対圧1000mbar〜5×10-9mbar(=hPa)、750Torr〜5×10-9Torr コンパクトなVSMは、大気圧から超高真空までの絶対圧を測定するデジタルコンビネーション変換器（ピラニ／冷陰極）です。Smartline社の変換器は、マイクロプロセッサによって制御されており、測定範囲やスイッチングポイントなど、真空センサーの適切な相互作用を自動的に管理し、高精度を達成することが可能です。 お客様のメリット - ピラニと冷陰極の組み合わせによる測定レンジの拡大 - 冷陰極の減圧操作と寿命延長を可能にするピラニのレンジ拡大 - 空気の侵入を防ぐ冷陰極センサー - 冷陰極の電圧低下により、センサーの耐久性を最適化 - デジタルRS485インターフェイス、アナログ出力信号1,819-8,6 VまたはEtherCAT - ボーレート自動検出機能 9.6 kBd～115 kBd - バックライト表示と一体化した大型LCDディスプレイをオプションで用意（VSM77DL、VSM79DL） - 独立した無電位リレースイッチ2点 - 校正済み交換用センサヘッドにより、迅速かつ容易な交換が可能 代表的なアプリケーション - 質量分析計 - コーティングプラントと蒸着 - 微小・高真空での計測・制御 - プロセスエンジニアリング - スパッタリング装置 - 工業炉