Pirani真空計 VSH

熱陰極式デジタルRS485

絶対圧1000mbar～5e-10mbar（=hPa）、750Torr～5e-10Torr コンパクトなコンビネーションゲージVSH（ピラニ/ホットカソード）は、大気圧から超高真空までの絶対圧を測定します。内蔵マイクロプロセッサのインテリジェンスにより、2つのセンサー原理間のシームレスな移行が保証され、高精度を実現します。 メリット "ピラニ/ベイヤード・アルパートのコンビネーションセンサーによる広い測定範囲 "広い測定範囲を持つピラニにより、低圧での熱陰極の運転が可能になり、最適化された耐用年数が保証される。 "優れた精度と再現性 "イットリウムコーティングされた耐ブローイング性ダブルフィラメントのバヤールアルパート "デジタルRS485インターフェースと0-10 V出力信号、EtherCATまたはPROFINET "ブルートゥースアダプターSLKBTによるワイヤレス通信 "ボーレート自動検出 9.6 kBd～115 kBd "オプションでバックライト付き大型 LCD ディスプレイを内蔵可能 (VSH88DL, VSH89DL) "独立した無電位リレースイッチ 2 点 "簡単に交換可能な校正済みセンサーヘッド 応用例 "分析技術 "蒸着・コーティングシステム "高真空領域での測定と制御 "プロセスエンジニアリング "真空炉 "スパッタリング装置