円形防振マウント STACIS® III

ゴムアクティブ除振装置

概要 STACIS® IIIは、柔軟性のある高度なアクティブ除振装置です。最先端の慣性振動センサー、非常に高度な制御アルゴリズム、最先端のピエゾ式アクチュエータを装備したSTACISは、継続的に床振動を測定し、非常に高度なピエゾ式アクチュエータを拡張、伸縮させることで、床の動きをフィルタリングして取り除き、リアルタイムで振動を打ち消します。 STACISは当初、高度な半導体工場で精密マイクロリソグラフィー、計測機器、検査装置を除振するために設計されましたが、現在では、半導体製造工場、故障解析ラボ、ナノテクノロジー研究、ナノファブリケーション施設、材料研究を含みますがこれに限定されない、ノイズの多い環境において最もセンシティブな機器の業界標準ソリューションです。 STACIS IIIには、新しく、改良されたデジタルコントローラであるDC-2020が含まれています。新しいデュアルコアプロセッサーとイーサネットと、フロントとリアパネルにUSB直列ポートを装備したこの最先端の制御システムは、ユーザーにモダンで使いやすいグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を提供します。世界中で何百もの設置に成功しており、STACISは振動に非常にセンシティブな機器に理想的な除振装置です。 STACIS IIIの利点 STACISは空気ばね式除振装置よりも何百倍も剛性で、空気ばね式除振装置が持つ制限に一切悩まされることはありません。アクティブ空気ばね式システムとは異なり、柔らかいサスペンションはなく、STACISは、両方のシステムを完全に最適した状態で内部空気ばね式アクティブ除振装置を備えた装置の下に設置することができます。 ユニークな直列設計と独自の高性能のピエゾ技術によって、 0.6Hz〜150Hzの幅広くアクティブな帯域幅と、2Hzから90％の振動を低減でき、例を見ない精密なアクティブ除振を実現しています。