低周波数防振テーブル LaserTable-Base™

概要 LaserTable-Base™ は、光学定盤で達成できる除振において、既存の技術を桁外れに上回るレベルの改善を提供します。通常、光学定盤は、低周波空気ばね式除振装置によって設置されています。高周波数を除振するのに非常に効果的ですが、これらのパッシブシステムは実際には1〜3Hzの臨界領域の振動を増幅させてしまいます。 TMCのSTACIS技術は、非常に低い周波数の振動を増幅ではなく減衰させるために、ピエゾ式アクチュエータと慣性振動センサーを組み込んだ独自の技術でこれらの制限に打ち勝ちます。LaserTable-Baseは、空気ばね式とSTACISの2つの技術を結びつけ、一つの統合された除振システムにします。その結果、2つの除振装置を直列に結びつけた効果により、非常に低い周波数での除振と、前例のない高いレベルの高周波数の除振が可能になります。 LaserTable-Baseの上部の空気ばね式の部分はモジュール式で交換可能です。アプリケーション要件に応じて、TMCのGimbal PistonまたはMaxDamp空気ばね式除振装置、または剛性がある非除振性の支持脚を組み込むことができます。 仕様 組み込まれた特許取得済みのSTACIS®技術を採用 アクティブ慣性振動除振装置 除振は1 Hz未満で開始 拡大ストロークピエゾ式アクチュエータ、最大60ミクロン。 6アクティブ自由度 最大限の除振のため直列に並んだ2つの除振装置 特許取得済みのMaxDamp®空気ばね式除振装置を採用 シンプルで頑強で費用対効果が高い テーブルの下に装置を取り付けるためのオプションのシェルフ TMCのDC-2020デジタルコントローラを含む