アクティブ防振システム Electro-Damp® II

半導体産業用

概要 Electro-Damp®は、半導体製造アプリケーションの処理能力、分解能、生産性を向上させるために特別に設計された初の市販のアクティブ除振装置です。Electro-Damp IIは、モジュール性、デジタル制御、フィードフォワード、強力で高いクリアランスのアクチュエータ、さらにマイクロリソグラフィー、検査機器、計測機器などOEMアプレケーション用に特別に設計されたオリジナルシステムの完全な再設計に、さらに複数のデジタルユーザーインターフェースを追加しました。 半導体製造機器は、除振装置に相反する要求をもたらします。床ノイズに応じて、床振動が隔離された表面に到達するのを効果的にフィルタリングするために、システムは柔軟でなければなりません。同時に、システムはステージモーションが隔離された表面の最小変位を誘発したときに、急速に落ち着くような、ステージの力に応えて剛性でなければなりません。 慣性アクティブフィードバックダンピングに加え、Electro-Damp IIは、システムの反応のさらなる向上のためにフィードフォワード情報を使用します。フィードフォワードはステージコントローラーからステージ位置と加速度に関する情報を得ることで作用します。その後そのデータを搭載装置に対して力を発動させるために処理し、ステージによって誘発される搭載装置モーションを大幅に低減します。システムは、デジタル的に、2極のアナログ信号として、または直角位相エンコーダの出力を読むことで、フィードフォワード情報を読み取ることができます。DC-2000デジタルコントローラは、ステージテストパターンを使用して、フィードフォワードの求めるパラメーターを自動的に調整することができます。これにより、最初の設置時や搭載装置の変更後に、セットアップが迅速で容易になります。 Electro-Damp IIのモジュール性により、電磁サーボのみ（CMMのように重く、低加速アプリケーション）、電磁気作動装置のみ（高い加速率を必要とする軽めのステージ）、もしくは最も求められているアプリケーションの両方を組み合わせたシステムを使用することができます。