標準のSTACIS Quiet Islandと同様に、このCompactバージョンは、通常1134kgを超える大型機器に対して優れたサブヘルツのアクティブな床振動キャンセレーションを提供します。
標準の静音島は380mm以上の床またはピットが必要ですが、コンパクト静音島はSTACIS IIIc薄型アイソレータとカスタムポケット付きプラットフォームを使用し、200mmという低い床高に対応します。
以下の画像は、標準とコンパクトクワイエットアイランドの高さの比較を示しています。
Quiet Island® プラットフォームに設置される機器は複雑で繊細、かつ高価なため、注文用の標準カタログ番号を保持していません。弊社では、各インストールをカスタムエンジニアリングソリューションとみなしています。ご注文の際は、以下の手順でお願いいたします。
分離したい機器や装置をお知らせください。私たちのインストールベースは、すでにお客様のアプリケーションの要件に設計されたプラットフォームである可能性があります。また、ステッパー、アライナー、SEMなどの装置メーカーと密接に連絡を取り合い、サイズ、形状、重量、床振動の仕様などを常に把握しています。
床振動のデータをご提供いただくか、測定方法をご相談ください。
---