STACIS® 4は、市販されている最も先進的なアクティブ防振システムです。慣性振動センサー、洗練された制御アルゴリズム、最先端の圧電アクチュエータを採用したSTACISは、床の動きを継続的に測定し、圧電アクチュエータを伸縮させて床の動きをフィルタリングすることで、リアルタイムに振動をキャンセルします。全く新しいSTACIS 4は、世界の半導体メーカー上位10社のうち9社で使用されている当社の実績あるSTACISテクノロジーの成功に基づいています。
STACISは当初、最先端の半導体工場における精密なマイクロリソグラフィ、計測、検査機器を隔離するために設計されましたが、現在では、故障解析、ナノテクノロジー研究、ナノ加工、構造生物学、材料研究などのアプリケーションを含むがこれらに限定されない、ノイズの多い環境で最も繊細な機器のための業界標準ソリューションとなっています。
STACIS 4には、新しく改良された低ノイズのデジタルコントローラDC-2020とデュアルコアプロセッサが搭載されています。この新しい高度な制御システムは、ユーザーに使いやすいグラフィカル・ユーザー・インターフェイス(GUI)を提供します。
STACIS 4は、高度な制御アルゴリズムと新しい特許技術を追加することにより、前世代の高度なアーキテクチャを構築しています。その結果、あらゆる周波数、特に高解像度のイメージングと計測が最も敏感となる10Hz以下の周波数において、これまで実現できなかった建物の床振動のキャンセルが可能になりました。特許取得済みのFloorSense™テクノロジーと組み合わせることで、STACIS 4は建物の床振動を2Hzで60dB、1Hzで27dB低減します。STACIS 4の全性能仕様は以下の通りです。
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