低周波数防振プラットフォーム TOOL-Base

TOOL-Baseは、超精密測定機や超精密加工機に使用できるピエゾ素子を用いたアクティブ式除振台です。 この製品は、使用する装置が一般的なSEMより大きかったり、重かったり、または、設置場所の高さ制限がある場合に最適です。 TOOL-Baseは、使用する装置の寸法と重量等に合わせて、TOOL-Baseの寸法（幅×奥行×高さ）を決めることが出来ます。 頑丈な筐体―TOOL-Baseは、搭載する装置にパッシブ式除振台が内蔵されていても、頑丈な筐体により、搭載する装置の振動の影響は、受けにくいです。 アクティブ式除振―TOOL-Baseには、高感度の低周波慣性速度センサーを使用していますので、静かな設置場所でも、より多く除振できます。 ピエゾ素子を用いた直列式除振方法－独自の直列式除振方法とピエゾ素子を用いることにより、0.6Hzの振動から、除振することが可能で、２Hz以上の振動は、90%以上減衰できます。 本体寸法は自由に決定可能―TOOL-Baseの寸法（幅×奥行×高さ）は、除振台に搭載する装置に合わせて、決めることが出来ます。