防振プラットフォーム STACIS Quiet Island

概要 半導体製造工場（ファブ）、ナノテクノロジーセンター、ナノファブ、その他の精密製造と研究施設では、多くの場合、複雑な設備要件（配管、電気ケーブル、ガス配管など）に対応し、厳格な清浄度基準を維持するために、クリーンルームに疑似的な上げ床のシステムを組み込んでいます。このようなフロアは、振動にセンシティブな製品、検査機器、計測機器の設置に課題を提起します。上げ床はそのような機器に必要となる振動の少ない環境を提供することはできません。TMCのQuiet Islandは、上げ床部分のセクションと、下のサブフロアとしっかりと固定した「Quiet Island」を置き換えた革新的なソリューションです。Quiet Islandは、クリーンルーム対応の定盤とアプリケーション、その現場特有の支持脚を組み合わせて構成されています。 除振 Quiet Island独自の主なサポート要素とコアな技術は、STACIS IIIアクティブ除振装置です。この「高剛性」スタイルの慣性除振脚システムは、あらゆる振動にセンシティブな機器にとって重要であり、そのような機器が騒音の多い環境でも最高水準で動作することを可能にします。STACIS IIIは、自動ウェーハ処理機器、高分解能eBeamイメージング機器、イオンビームミリング機器、そしてパッシブとアクティブの両方において内部除振装置を備えたあらゆる機器と互換性があります（アクティブ除振装置、積層アクティブの白書を参照）。さらに、市販されている中で、最も広い周波数範囲で最も多くの除振効果を提供します。また、「ハードマウント」のデザインは非常に高い剛性があり、背の高い、重心の高い機器にも安定性に関するご心配はありません。 ライザーと支持脚 STACIS除振装置を支持する非常に頑丈で耐久性の高いライザーは、TMCの経験豊富なエンジニアチームによって設計され、弊社のISO 9001工場で溶接認定を受けて高水準で製造されています。それぞれのQuiet Islandは、多様な上げ床の高さ、サブフロアの配置、機器の設置面積に適合するように設計されています。世界中で200以上の多様な機器モデルの何千もの設置に携わり、TMCは、STACISとお客様の設備のニーズを満たす支持脚を設計する知識と経験を持っています。 高剛性定盤 この定盤は、TMCによる設計で、軽量で非圧縮性でダンピングされたコア材を間に挟んだ、厚さ4インチ（100mm）のラミネート加工されたスチール板で製造されています。スチール板とシームレスなステンレススチールパンにエポキシ接着されたコア材を層状にしたことで、非常に高いレベルの剛性と構造減衰が実現できます。大きな横断面およびスチール含有量は、全体的に非常に高いレベルの剛性をもたらします。定盤表面と側面は、清潔さ、外観、清廉さを保つために、一枚のつながったステンレススチールの外板で作られています。TMCは、カットアウト、特殊形状、固定穴、リフティングボルトを組み込んだそのアプリケーション個別の定盤の設計と製造をします。