350 ポンド(160 kg)以上の搭載重量を除振する必要があるテーブルアプリケーションでは、高い搭載可能重量のCleanBench 68-500シリーズテーブルを推奨します。弊社の63-500シリーズのテーブルの設計と似ていますが、より高い搭載可能重量の除振装置と、より頑丈なステンレススチール製のトッププレートを備えています。
高い搭載重量のアプリケーションに加えて、高い搭載可能重量のCleanBenchは、異常に高い重心を持つ搭載装置や、ステージ移動のある機器を搭載した搭載装置に推奨されます。これらのアプリケーションは安定性が向上したことで大きな恩恵を受けるはずです。
高剛性、より頑丈なトッププレート、低固有周波数の除振装置、より剛性が高く重い脚のフレームを備えた高い搭載可能重量のCleanBenchesは、業界の他のパッシブテーブルよりも際立って優れた性能を提供します。
すべてのCleanBenchテーブルに、TMCのGimbal Piston空気ばね式除振装置が標準装備されています。Gimbal Pistonは、比較実験で他の空気ばね式除振装置よりも一貫して優れた性能を示しています。それは、すべての軸で傑出した低周波除振を実現し、非常に低いインプットレベルの励振を受けても仕様通りの性能を維持します。独自のダンピング技術により、Gimbal Pistonは比較的重心の高い搭載装置を安定させ、隔離された除振台の外乱を素早く消散させることができます。
• 2 Hzで開始される垂直および水平除振
• 10Hzで振動を95%以上低減
• 設計は事実上摩擦がなく、静転がり摩擦から静摩擦への遷移を回避できる
• ジンバルとして機能することで水平変位に適応
Gimbal Piston® 空気ばね式除振装置は、非常に低いインプットレベルでさえも、あらゆる方向に傑出した低周波除振実現します。一般的な低振幅の周辺の床振動に対してはわずかなダンピングで非常によく反応しますが、急激な負荷変動や定盤への衝突などの瞬間的な大きな外乱に対しては非常に高いダンピングを実現します。その結果、Gimbal Piston除振装置は優れた除振を提供し、その上、数秒以内に大きな外乱を事実上減衰します。また、除振効果を損なうことなく、比較的高い重心で除振装置を安定させることができます。