正面削り研削ホイール Vega

仕上げ円筒形ダイヤモンドビトリファイドボンド

SiCウェーハ平面研削の粗/仕上げ加工用ホイール 対象素材：SiC、GaN、GaAs、LT/LN アプリケーション：表面研削、裏面研削（粗/仕上げ加工） スペック： 粗加工用 ボンド種：有気孔ビトリファイド 粒度：#1000～#3000 仕上げ加工用 ボンド：有気孔ビトリファイド 粒度：#4000～#12000 当社の有気孔ビトリボンドホイール「ベガ」は、従来よりも大きな気孔径と高い気孔率を両立させ、ワークへの食いつき性を最大限に高めたホイールです。特にSiCウェーハの平面研削に好適で、６“ SiCウェーハもノンドレスで加工が可能。優れた耐摩耗性でホイールあたりのウェーハ加工可能枚数を増やし、ウェーハの加工コスト低減に貢献します。