炭化ケイ素は非常に優れた機械的特性を持ち、超高温でも強度を維持します。また、800℃までの酸、アルカリ、溶融塩に対しても優れた耐性を持っています。これらの優れた特性により、SiCは耐摩耗性、熱衝撃性、耐腐食性が要求される用途に適しています。
トップ精工では、炭化ケイ素および炭化ケイ素-炭化ケイ素金属複合材料(Si-SiC MMC)の精密加工に豊富な経験を持っています。炭化ケイ素と同様に、高い熱伝導性と耐摩耗性が要求される用途に最適な材料です。
主な特性
高硬度
耐摩耗性
硬度が高いため、傷や摩耗に非常に強い。
高い熱安定性
高い熱安定性 ■高温強度
低熱膨張性
高い熱伝導性
高い熱衝撃性
SiCは非常に高い温度まで強度を保つことができます。高熱伝導率、低熱膨張率、高強度の優れた組み合わせにより、熱衝撃に非常に強く、急激な加熱・冷却にも耐えることができます。
■耐薬品性
SiCは、酸、アルカリ、反応性ガスに対して高い耐性を持っています。
用途
ウェハキャリア、ウェハトレイサポートなどの耐スクラッチ性が要求される部品。
タービン部品
ブラストノズル
メカニカルシール、ベアリング
高温での安定性、形状保持性が要求される部品
ヒータ、ヒートシンク、熱交換器などの高温で使用される熱伝達部品
化学的環境下で使用される部品
酸やアルカリによる付着物除去が必要な部品
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