DC/DC電源 645

可変出力ラックマウント

TREKはソフトウェアで動作する静電気のチャックの供給がいろいろデマンドが高い適用を収容している間重要な利点を提供する特徴の配列を提供する645を模倣する。文書化された使用は顧客が他の供給の3回に効率および効率の同輩の増加を見たことを示す。さらに従って、モデル645は事実上粘着性があるウエファーおよびウエファーのぽんと鳴る問題を除去し、粒子の汚染のよりよい制御を保障する。 従ってモデル645の多様性そして性能を与えられて、それは多数の独特な用具/プロセスで使用することができ設備で各々の独特な用具/プロセスのために新しい供給を指定する必要性を除去する。 主指定 出力段階的に行なうこと: 電圧A （参照段階）:±2 kVへの0 電圧B （段階B = [- 1] x段階A）:±2 kVへの0 出力電圧範囲:±2 kVへの0 出力電流の範囲:10 mAのピーク機能の±6.5 mA DCへの0 典型的な適用は含んでいる 材料の静電気主導の処理 半導体ウエハーの処理 機械切抜きに敏感なフラット パネルまたは他の処理材料の非機械の移動 特徴および利点 CoulombicおよびJohnsen-Rahbek両方ESCの技術支える 注文クランプおよびdeclamp順序および波形のために構成可能ユーザー 静電気のチャックのプロフィールは単位にアップロードされ、ユーザー フレンドリーのソフトウェア インターフェイスによって内部的に貯えることができる 粘着性がある/ぽんと鳴るウエファーの裏側のガスの間違い、増加された効率および除去の文書化された減少 ロックできる フロント・パネルの制御インタフェース 過電流の、ウエファー現在のおよびウエファー締め金で止められた境界、クランプ電圧のような制御パラメータへの能力、