光学顕微鏡 1100TN

測定3D卓上

TREKのモデル1100TN静電気力の顕微鏡（EFM）はよい非常に高い空間分解能の電圧配分の測定を典型的な静電気の電圧計の機能をはるかに越えてあるより10μmの可能にする。TREKのEFMはまたスキャンの調査の顕微鏡と比べて大気条件の下で作動させたとき大いにより大きい表面積を渡る電圧配分を測定できる。TREKのEFMはこうしてテストの下で探知器と表面の間のアークを防ぐ測定された電圧と等しい探知器にフィードバックの電圧を用いる。 主指定 電圧範囲:±1 kV 電圧感受性: 正確さ:フル・スケールのよくより0.5% よくより100 mV 増加ステップ:最低1つのµm （探知器） 探知器の先端:5 µm Xの5 µm 測定区域:5つのmm X 5つのmm 典型的な適用は含んでいる 帯電防止袋の測定、Siのウエファー 電子写真材料テスト 光起電材料の評価 MEMSのテスト 特徴および利点 大気の状態で使用することができる 空間分解能は10 μmよりよい 3つの測定モード: - 空電 - ライン プロフィール - 3D地図を描くこと