AC/DC電源 640

可変出力卓上型

TREKのモデル640静電気のチャックのオプティマイザ システムは非クランプ時間を最小にすることを静電気のチャック/クランプのための波形/電圧の評価そして最適化が可能にする診察道具最大にするためにクランプ力をで、ESCシステムのために処理する最適ウエファーを達成する。 モデル640は独自にプログラムされ、完全な電源および波形の調理法を調査し、研究し、効率的にESCの適用を運転するために発見するように形成することができる波形発電機結合する、および2つのアンプを（二相電圧組合せのために）。静電気の電圧計（ESVM）はclamping/de締め金で止めるプロセスからの残りの電圧を監察するために含まれている。 主指定 出力段階的に行なうこと: 電圧A:±2 kV （4つのkV pにp）への0 電圧B:±2 kV （4つのkV pにp）への0 出力電流の範囲:10 mAのピーク機能の±5 mA DCへの0 静電気の電圧計の範囲:±2 kV DCかピークACへの0 出力段階的に行なうこと: 決断:16ビット 毎秒サンプル:250k 典型的な適用は含んでいる 材料の静電気主導の処理 半導体ウエハーの処理 機械処理に敏感なフラット パネルまたは他の処理材料の非機械の移動 特徴および利点 カスタマイズされた波形の作成がユーザーによって想像することができる最も複雑な波形を発生させるために簡単けれども強力であることを可能にする プロダクトのソフトウェアは任意のデータの入力によって変数、前処理プログラムを作成された波形を受け入れる、またはユーザーはCSVファイルを発生させた 一相か二相ESCシステムを収容する 研究は3つのそれぞれプログラムされた段階によって出力を造るために高められる