TruPlasmaシリーズMF 7000 (G2)は、プロセスを常にコントロールすることができます:優れたアーク管理と点火動作により、デュアルマグネトロンスパッタリング中の大面積コーティングや要求の厳しい反応性プロセスの電源として最適です。90%以上のピーク効率と、特に効率的な冷却水管理を特徴とするこの発電機は、運用コスト効率も非常に優れています。
最高のコーティング品質と生産性
最も困難なリアクティブプロセスにおいても、優れた結果と高い成膜率を実現します。
最大効率
ピーク効率90%以上、運転効率80%以上を達成。
あらゆる環境条件下で安定した電源供給
冷却水温度が高く、差圧が低い場合でも、確実に機能します。
世界中で使用可能
供給電圧が可変なので、技術的な調整が不要。
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