無線周波数プラズマ発生器 TruPlasma RF Air 1000 series

空冷式RFジェネレーターTruPlasma RF 1001 Airは、最大1000Wの高精度で再現性の高いRFエネルギーを100mW単位という極めて微細な分解能で供給するため、多様なプラズマアプリケーションに適しています。半導体、太陽電池、ディスプレイの製造のいずれにおいても、特許取得済みのTRUMPF Hüttingerテクノロジーは、最新のプロセス機能により、最高の信頼性と最高のプロセス結果を保証します。 スマートな自動周波数調整 最適かつ高速な周波数チューニングを保証し、ジェネレーターとマッチボックス間の最適な相互作用を実現します。 高精度アーク管理 要求の厳しい新しいプロセスの安全な操作により、製品を確実に保護します。 マルチレベルパルシング マルチレベルの柔軟なパルス形状制御により、最新のプラズマプロセスにおけるプロセス結果を改善します。 プラグ＆プレイ プロセスの変更やレトロフィットの際に、ジェネレーターの柔軟な使用と交換が可能。 安定したプラズマプロセス 特許取得済みのCombineLineテクノロジーは、50オームの真の出力インピーダンスにより、均一なプロセスパワーを保証します。 均一なジェネレーター技術 RF製品ファミリーの様々なパワークラスにより、あらゆるプロセス要件に対応できます。