無線周波数プラズマ発生器 TruPlasma VHF 3000 series

TruPlasma VHFシリーズ3000ジェネレーターは、革新的なプラットフォームコンセプトに基づいており、最高レベルの出力密度を実現し、最も厳しいプロセス要件に対応します。モジュール式の純水冷構造により、出力は最大80kWまで拡張可能です。このコンパクトなVHFジェネレーターは、コスト効率も高く、堅牢な設計となっています。 正確で高速な任意のパルス形状 現在のシングルレベルおよびマルチレベルパルシングに最適なプラズマプロセス制御を提供します。 最小ランプ時間 < 150 ns これは、ジェネレーターの点火動作の極めて柔軟な制御が可能であることを意味します。 スマートな自動周波数調整 ジェネレーターとマッチボックス間の最適な相互作用のための自動周波数調整。 信頼性の高い高度なプロセス制御 高精度のデジタル周波数変調により、優れた再現性のあるプロセス結果が得られます。 ケーブル長に依存しない プロセス変更時にRFケーブルの長さを変更する必要がないため、セットアップ時間が短縮されます。 堅牢な設計 CombineLine技術により、ミスマッチが発生しても信頼性の高いジェネレーター機能を発揮します。