プラズマ発生器 TruPlasma MW series

TruPlasma MWシリーズのジェネレータは、ソリッドステート技術をベースとしており、マグネトロンベースのマイクロ波ジェネレータよりも著しく高い周波数精度を達成しています。革新的なプラットフォームコンセプトは、効率的かつ経済的に最大プラズマ密度を実現し、非常に要求の厳しいプロセス要件にも対応します。モジュール構造により、出力パワーの正確なスケーリングも可能です。プロセス品質を損なうことなく、電源は常に安定しています。TruPlasma MWシリーズは、最新のプロセス機能により、半導体、太陽電池、ディスプレイの製造において最高の結果と最高の信頼性を保証します。 正確で高速なパルス整形 ナノ秒領域での革新的なパルス成形により、より優れたプラズマプロセス制御を実現します。 スマートな自動周波数調整 自動周波数調整は、最適なプロセス結果と高い再現性を保証します。 同期位相 マルチアンテナシステムでは、異なるジェネレーターを位相同期させて動作させ、パルスを発生させることができます。個々のジェネレーター間の位相コヒーレンスを変化させることにより、広範なプラズマの均一性を達成することができます。 堅牢な設計 ジェネレーターの機能を信頼することができ、ミスマッチが発生してもプロセス品質は損なわれません。 信頼性の高いプロセス制御 高精度のデジタル周波数変調により、再現性のあるプロセス結果、最高のコーティング品質、生産性を保証します。 複数のジェネレーターとリアルタイムで通信 デジタルEtherCatインターフェースにより、装置をミリ秒単位で素早く制御できます。これにより、正確なプラズマ分布が可能になります。