PECVDプラズマ発生器 TruPlasma DC 4000 (G2)

光起電性

TruPlasma DCシリーズ4000（G2）は、重質材料の反応性DCスパッタリング用に特別に開発されました。パルス直流電流で動作するこのジェネレーターは、最高のコーティング品質と生産性の両方が要求される重要なPVDおよびPECVDプロセスにおいて、特に高い実績を誇っています。コンパクトなDCプロセス電源は、パルスモードとバイアスモードの両方で使用できます！ 高い成膜品質と生産性 デジタル信号処理により、安定したプロセスと最小限のアーク関連時間ロスを保証します。 重要なプロセスでも最高の結果を DCパルステクノロジーと組み合わせた高速アーク処理により、基材へのダメージを最小限に抑えます。 簡単なプロセス調整 広範な周波数スペクトルと調整可能な逆電圧による コンパクトで堅牢な設計 冷凍機一体型のため、省スペースでメンテナンス費用が削減できます。