無線周波数プラズマ発生器 TruPlasma RF 3000 series

TruPlasma RFシリーズ3000は、その堅牢な設計と高効率が特長です。これは、半導体、太陽電池、フラットスクリーンの製造に使用されるような、安定した再現性のあるプラズマプロセスに最適であることを意味します。世界中の何千ものアプリケーションに設置されているこれらの発電機は、高レベルの生産性と優れたプロセス結果を保証します。 効率と費用対効果 最大80%の効率により、エネルギーコストを最大50%削減できます。 優れたRFアーク管理 要求の厳しい新しいプロセスでも安全に操作できます。 極めて堅牢で高いプロセス安定性 CombineLineテクノロジー：不一致時の反射電力に対する信頼性の高い保護。 最大限の柔軟性 連続またはパルス出力により、多様なアプリケーションに対応します。