表面のコーティングや構造化の決め手となるのは、安定した再現性のあるプラズマ電流の供給です。TruPlasma RFシリーズ1000 / 3000 (G2/13)のRFジェネレーターは、最先端のパワーエレクトロニクスにより、このための最良の条件を提供します。安定した出力と高い制御精度は、高い生産性を維持しながら最高の結果を保証します。
高い精度と再現性
CombineLineテクノロジー:真の50Ω出力インピーダンスによる最適なプロセスパワー。
RFケーブルの長さに依存しない
ケーブルの長さを調整する必要がなくなりました。
堅牢で安全
CombineLineテクノロジー:ミスマッチ時の反射電力から確実に保護します。
効率的でコスト効率
最大80%の効率により、エネルギーコストを最大50%削減できます。
送風機不要の冷却ソリューション
周囲空気の加熱や汚染がないため、クリーンルームでの運転も可能です。
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