XYZ軸傾斜計 NBN

CANopenMEMS凹凸

MEMSセンサ（マイクロエレクトロメカニカルシステム）を用いた重力場での傾斜の登録とその後のコントローラによるデジタル化と線形化。 データ出力は、CANopenインターフェースを介して、またはアナログ信号として実行されます。 傾斜センサは、安定したアルミニウムハウジング（オプションでステンレス鋼）を備えています。 スロットは機械的なアライメントに使用できます（最大約±7.5°）。 CANopenの場合、接続のために1つのコネクタまたは1つのオス/メスのコネクタの組み合わせをオプションで選択できます。 ハウジング内の鋳造措置は、保護クラスIP 69Kの達成につながります, 水中での使用など. MEMSセンサは、シリコンバルクマイクロメカニカル技術を使用して製造された集積回路です。 これらのマイクロメカニカル構造は、二重容量を形成するために使用されます。 重力加速度（g）などの加速度でこれらの構造が偏向すると、容量が変化し、測定技術を使用して登録され、さらに処理されます。 ここで説明する差動容量依存性により、出力電圧は関数U～g* sin αに従います。 この場合、角度αは、gベクトルに対して測定されたセンサの傾斜角である。 これらのセンサは、正確に測定し、長い耐用年数を持ち、非常に堅牢です。 測定軸は互いに独立して動作します。