欠陥検査機

光学式エレクトロニクス産業用高速

ディスプレイパネルの製造工程では、前工程が重要な要素となっています。アレイパネルの製造工程では、外観不良を監視するためにAOI検査技術が使用され、その検査精度や効率は製品の歩留まりやコストに大きく影響する。また、ディスプレイ工場のアレイ部では、周辺回路や凹凸の検査が品質管理の大きな課題となっています。 TZTEKのアレイ加工用AOI装置は、独自に開発したVirgoソフトウェアプラットフォームと独自のプラットフォームキャリブレーション技術を採用しています。製造工程におけるアレイ基板の欠陥検出に最適で、高速スキャンと高い画像精度（検出精度1.0pm/1.5pmを実現）を特徴としています。 プログラムの特長 1. - TZTEK独自のキャリブレーションプラットフォーム技術により、より良い画像スティッチングと領域抽出を実現します。AAゾーンには周期比較、周辺部にはパネル間比較を採用。 2. - 独自開発のVirgoソフトウェアプラットフォームにより、長方形、円形、半円形などの不定形マップの作成が可能。 3. - 1.0 pm / 1.5 pmの精細度を実現。