- 空圧・油圧機器
- ポンプ
- ダイヤフラム式真空ポンプ
- ULVAC GmbH
ダイヤフラム式真空ポンプ DA Series乾式一段
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特徴
- 技術
- ダイヤフラム式
- 潤滑
- 乾式
- 段数
- 一段
- 到達真空度
最大: 199 mbar
(2.89 psi)最少: 53 mbar
(0.77 psi)- 流量
最大: 5.1 m³/h
(180.1 ft³/h)0.2 m³/h
(7.06 ft³/h)最少: 1.2 m³/h
(42.38 ft³/h)
詳細
ダイアフラムタイプドライ真空ポンプ DAシリーズ
ダイアフラムタイプドライ真空ポンプ DAシリーズ
ダイアフラムタイプポンプは、
ゴム製ダイアフラムの往復運動により真空を作り出します。
ポンプ構造により、オイルフリー環境とメンテナンスが
容易になります。
必要な圧力とポンピング量に応じて、様々なポンピング速度と2段/シングル段を選択できます。
特別な機能/さらに用途
• 真空チャック、ウェーハおよびチップハンドリング装置。
• 真空ピンセット、医療機器。
• 印刷機器。
• 自動包装機。
• 光学機器
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