回転翼真空ポンプ LR/HR/UR series

乾式一段ヘリウム

ドライポンプLR/HR/URシリーズ ULVACの独自のアプローチは、ドライポンプボディ内から発生した熱を利用することで、LR/HR/URシリーズは最も厳しいプロセスでも実行できます。 ULVACは、すべてのポンプ段階で非常に均一な高温を維持するための設計努力に焦点を当てており、このシリーズポンプはCVDおよびエッチング用途に最適です。 ULVACのECO-SHOCKをLRポンプに追加すると、空気や窒素を含むあらゆる軽工程で最大 70 ％ のエネルギーを節約できます。低温ポンプ：LRシリーズポンプは、ロードロックまたはPVDプロセス用に設計されています。 ULVACのユニークなアルミニウム設計により、ポンプ本体全体に非常に均一な温度分布が可能です。HR エアリーポンプは、CVDおよびエッチングプロセス向けに設計されています。 ULVAC URシリーズポンプは、加熱ポンプ、加熱ガスライン、および/または加熱排気線を必要とするアプリケーションのために設計されています。 優れたヘリウムポンプ能力：安全とメンテナンスの容易さのための缶詰モータ 電源障害保護：ポンプは、最大 1000msの電源中断に耐えます。 優れた耐食性：内部部品は特別に処理され、高い表面硬度と耐食性を提供します。 これにより、腐食性 ガスにさらされたときの内部ポンプ部品の摩耗や腐食を防ぎます。 通信機能：警告やアラーム等のポンプデータを書き出すことができます。 豊富なポンプ制御が可能です。 CEマーキングが可能：要求に応じてCEマーキングが可能です。