スパッタイオンポンプは、超高真空を生成するために使用されるポンプの一つです。 このポンプは、摩耗や振動を生み出す可動部品のないシンプルな設計です。 これらの特徴は、スパッタイオンポンプをアクセラレータや分析装置での使用に適しています。 ULVACは、スパッタイオンポンプのACTERシリーズを開発しました。 ACTERポンプは、最適化された磁場と新しいACTER 素子を使用して、超高真空範囲および超高真空範囲におけるポンプ特性を大幅に改善し、全体的なコストパフォーマンスを向上させます。 これらの性能向上の結果、ACTERポンプは、加速器、電子顕微鏡、その他の科学分野で受け入れられています。10-10Paの順序で究極の圧力は、
ISO 規格(CXII、AXIIシリーズ)に準拠したテストドーム
で達成された優れたポンプ性能 不活性ガス強化
ポンピングモデル(タイプAXII)
専用ヒーターとシールドカバーによる高効率ベークアウトと磁界漏れの低減、
超高真空範囲で
高い
ポンプ速度長いメンテナンスフリー時間トップノッチポンプ特性
- 高い真空
範囲(放電は
超高真空範囲に保たれます)
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